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∙÷´Ü¼¼¶ó¹Í, ÈñÅä·ù ¹× ¼®¸é ½ÃÇèºÐ¼® ∙power: 9kW
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∙¼¼¶ó¹Í, ±¤¹° ¹× ÁöÁú½Ã·á ¹«±â¿ø¼Ò Á¤¼º/Á¤·® ºÐ¼® ∙RF generator: 27MHz
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∙C, S, N, O ¿ø¼Ò ºÐ¼® ∙ºÐ¼®¹üÀ§: C/S: 2ppm, N/O: 1ppm
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∙÷´Ü¼¼¶ó¹Í¼ÒÀç ¹Ì·® Á¤¼º, Á¤·® ¿ø¼Ò ºÐ¼® ∙power : 4kW
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∙ÃÊÁ¤¹Ð/ÃÊ°í¿Â À¶ÇÕ¼¼¶ó¹Í¼ÒÀç ¿­Àüµµµµ ÃøÁ¤ ∙ÃøÁ¤¹üÀ§: 25~2500¡É
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∙³­¿ëÇؼº ¼¼¶ó¹Ì¼ÒÀç ¼øµµ ºÐ¼® ∙213nm ArF laser
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∙ºÎÇ° ¹× ¸ðµâ ºñÆı« °áÇÔ°Ë»ç ∙X-ray power Max. 225kV
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